离子束辅助沉积真空镀膜
在镀膜工艺上,宇隆可提供离子辅助镀膜和热蒸发镀膜。
离子辅助镀膜技术能够设计和生产多种复杂的、需要多层镀膜的滤光片。我司主要的离子辅助镀膜设备是光驰OTFC-1300镀膜机。它可以使截止深度达到OD7的同时,使透过率维持在96%,且镀膜后的滤光片光谱性质稳定,经久耐用,量产的时候也能保持一致的光谱性质。
使用热蒸发镀膜的主要产品为增透膜(AR膜)和窗口保护片。
测试
激光干涉仪——检测基片面形的平整度,透过波前差及平行度,分辨率为 λ/20。
分光光度计——测量范围190nm-3200nm,可测量透过率及反射率,分辨率为0.001%,采样间隔0.01nm。
光学测角比较仪——测量光学平板的平行差,参照标准角规进行角度比较测量,两个平面间的垂直度测量。
平行光管——综合评价、检验光学系统和产品象质、分辨率。
性能——可靠、精确、可重复
(1)40°- 80°的环境下对温度变化不敏感;
(2)滤光片的性能稳定,可以维持多年;
(3)产品严格遵循MIL-C-48497A美军标标准;
(4)波长波动在+/-1nm;
(5)不管产品是单批次生产还是多批次生产,滤光片的光学性能和表现几乎相同。
设备能力
宇隆有18年的光学镀膜经验,我们可根据客户要求进行光谱设计、打样及量产。我们的设备生产能力如下:
指标参数 | 单带通&多带通 | 长&短带通 | 二向色镜&分光镜 |
最高透过率 | <99.9% | <99.9% | <99.9% |
最大的截止深度 | <OD10 | <OD10 | 反射>99.5% |
波长范围 | 200-1800nm | 200-1800nm | 300-1800nm |
有效孔径 | 90% 或者根据客户要求 | 90% 或者根据客户要求 | 90% 或者根据客户要求 |
光洁度 | 80/50 (60/40 、40/20或者根据客户要求) | 80/50 (60/40 、40/20或者根据客户要求) | 80/50 (60/40 、40/20或者根据客户要求) |
陡度 | <1%,(T90-T10) | <1%,(T90-T10) | <1%,(T90-T10) |
圆形尺寸范围 | ∮150,∮4 | ∮150,∮4 | ∮150,∮4 |
方形尺寸范围 | 150×150,3.5×3.5 | 150×150,3.5×3.5 | 150×150,3.5×3.5 |
环境适应温度范围 | -40℃~80℃ | -40℃~80℃ | -40℃~80℃ |